产品名称:自动吸引式半导体特气检漏仪

    品牌:日本新宇宙COSMOS

    型号:XP-703DIII

    产品参数

    • 检测对象气体 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) 检测原理 热线型半导体式 采样方式 自动吸引式 可检测浓度 (单位:ppm) 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

    产品详情

    分享到:
    0

    日本COSMOS新宇宙XP-703DIII自动吸引式半导体特气检漏仪

    特点: 
    最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
     采用声光报警。
    规格 

    检测对象气体  H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3
    检测原理 热线型半导体式
    采样方式 自动吸引式
    检测气体名称 砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气
    AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2
    可检测泄漏量 H2:5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6:1.01×10-7、   SiH4:2.53×10-7、PH3:1.52×10-7、
    可检测浓度
    (单位:ppm)
    AsH3 :0.5   PH3: 0.3   B2H6: 0.2    SiH4: 0.5   H2: 1.0
    反应时间 10秒以内
    电源(额定) 5号碱性干电池(LR6)2节
    电池使用时间 约12小时(5号碱性干电池、25℃时)
    保护等级 相当于IP22
    使用压力范围 大气压(800-1100hPa)
    使用温度范围 0-40℃/85%RH以下(但是,不能结露)
    尺寸 约W38×H130×D32mm(突出部分除外)
    重量 约190克(含电池、皮套)