产品名称:自动吸引式半导体特气检漏仪

    品牌:日本新宇宙COSMOS

    型号:XP-703D

    产品参数

    • 检测对象气体 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) 检测原理 热线型半导体式 采样方式 自动吸引式 可检测浓度 (单位:ppm) 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

    产品详情

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    日本COSMOS新宇宙XP-703D自动吸引式半导体特气检漏仪

    特点: 
    最适合于检测半导体
    特气的微量泄漏。
    采用声光报警。
    规格 
    检测对象气体
    半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
    检测原理
    热线型半导体式
    采样方式
    自动吸引式
    可检测浓度 
    (单位:ppm)
    砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 
    AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 
    0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
    测表
    蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
    应答速度
    10秒以内